该设备由Keyence VHX-600E控制器、VH-Z20R超小型高性能变焦镜头（20-200倍）、VH-Z500R高清晰变焦镜头（500-5000倍）、VHX-S15CE电动载物台控制部、VHX-S15H电动载物台等组成。三维断口形貌，断面坡度测量等。