本仪器为从天美科学仪器公司采购的SU5000，它为日立品牌的全新一代热场发射扫描电镜，SU5000具有强大的观察分析能力和易操作的特点。

这台仪器主要配备了4个探头，分别是SE、BSE、EDS（牛津品牌）、EBSD探头（牛津品牌），其中SE和BSE主要用于观察样品的微观形貌特征，EDS主要用于样品的元素分析，EBSD主要用于测定样品表面的晶体微区取向。